
化学气相渗铝炉
化学气相渗铝是一种利用活性氯化铝生成铝基涂层的工艺,氯化铝被氢气还原后,通过特殊的进气系统进入待镀层表面,与高温合金中的镍形成金属间化合物。
反应室内使用特殊工装,可使反应物均匀地分布在叶片中的冷却通道内。
技术参数
设备型号 |
CVA-40 |
CVA-80 |
CVA-190 |
CVA-440 |
反应室尺寸(mm) |
325×1250 |
325×1600 |
530×1600 |
800×1800 |
工作区尺寸(mm) |
φ260×725 |
φ260×925 |
φ360×925 |
φ740×1000 |
加热区数量pcs |
4 |
5 |
5 |
3 |
沉积温度℃ |
900 - 1050 |
|||
工艺压力mbar |
100 - 300 |
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