切削刀具专用化学气相沉积炉
该装备专为硬质合金切削刀具定制开发，可针对硬质合金刀片等各类工具或模具涂覆TiC、TiN、TiCN、Al2O3硬质化薄膜材料。CVD涂层与基体结合强度高，附着力强，均匀性好，形状复杂的工件也可得到均匀的镀层，薄膜厚度可达5-20μm。
反应室筒体采用高温合金离心铸造，可极大减少变形量，使用寿命可达200炉次以上。
设备配有双反应腔室，经济高效，维护成本低，安全环保，并可灵活满足未来不断提升的CVD工艺需求。
技术参数
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设备型号 |
CVD430-1250 |
CVD430-1600 |
CVD530-1250 |
CVD530-1600 |
CVD630-1250 |
CVD630-1600 |
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有效空间（mm） |
ϕ400×1250 |
ϕ400×1600 |
ϕ500×1250 |
ϕ500×1600 |
ϕ600×1250 |
ϕ600×1600 |
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加热温区 |
4 |
5 |
4 |
5 |
4 |
5 |
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工作温度（℃） |
700-1050 |
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先驱体及工艺气体 |
TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S |
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涂层类型 |
TiC、TiN、TiCN、Al2O3 |
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可选设备 |
●尾气中和装置●气站●二级汇流排 |
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