热解碳化学气相渗透炉
该装备根据化学气相反应的温度不同，可应用于C/C材料的增密处理，以及基体材料表面致密热解碳的沉积。碳源可采用天然气、丙烷、丙烯。设备采用立式，下出料设计。
技术参数
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最高工作温度（℃） |
1300、2000 |
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温度均匀性（℃） |
≤±7 |
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极限真空度（Pa） |
≤50 |
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压升率（Pa/h） |
≤3 |
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工艺气体 |
CH4、C3H8、C3H6 |
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